ISO 5級(jí)潔凈室，也稱為100級(jí)潔凈室，每立方英尺空氣僅允許100個(gè)大小為0.5 µm或更大的顆粒（100,000顆粒/每m³）。這種分類在光譜的更關(guān)鍵的一端，需要高水平的過(guò)濾。即使要進(jìn)入100級(jí)，也需要通過(guò)其他ISO受控環(huán)境。
可能需要100級(jí)潔凈室的制造業(yè)包括航空航天，光學(xué)，半導(dǎo)體，太陽(yáng)能，硅片板，記錄介質(zhì)和可植入醫(yī)療設(shè)備。為了成功啟動(dòng)精心設(shè)計(jì)的ISO 5潔凈室，預(yù)計(jì)劃，過(guò)程實(shí)施和理解系統(tǒng)工程是至關(guān)重要的組成部分。
ISO教室標(biāo)識(shí)的命名（ISO標(biāo)準(zhǔn)146144-1：2015）基于每m 3空氣中≥0.1 µm或更大的允許顆粒數(shù)的十進(jìn)制對(duì)數(shù)，而聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209E的編號(hào)類別表示空氣中允許的微粒≥0.5 mm / ft 3。
在理想情況下，要實(shí)現(xiàn)ISO 5空氣清潔度，您必須通過(guò)ISO 8（前室）進(jìn)入潔凈室，然后先通過(guò)ISO 7，再通過(guò)ISO 6，然后再進(jìn)入。盡管這并不總是可行的，但法規(guī)要求兩個(gè)連通的房間的清潔度等級(jí)相差不得超過(guò)兩個(gè)數(shù)量級(jí)。
100級(jí)無(wú)塵室和清潔器設(shè)施采用層流或單向氣流去除空氣中的摻假物?？諝庖?.3-0.5 m / s的速度沿一個(gè)方向向下掃過(guò)房間，然后離開(kāi)地板。超低滲透空氣（ULPA）過(guò)濾效率高達(dá)99.9995％，可去除高達(dá)0.12微米的空氣中顆粒。
100級(jí)潔凈室的空氣微粒清潔度
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美光 |
0.1 |
0.2 |
0.3 |
0.5 |
1個(gè) |
5 |
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顆粒/ m 3 |
100,000 |
23,700 |
10,200 |
3,520 |
832 |
29 |
證明持續(xù)合規(guī)的測(cè)試時(shí)間表
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測(cè)試參數(shù) |
班級(jí) |
zui大時(shí)間間隔 |
測(cè)試程序 |
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顆粒計(jì)數(shù)測(cè)試 |
<= ISO 5 |
6個(gè)月 |
ISO 14644-1附錄A |
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氣壓差 |
所有課程 |
12個(gè)月 |
ISO 14644-1附件B5 |
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空氣流動(dòng) |
所有課程 |
12個(gè)月 |
ISO 14644-1附件B4 |
聯(lián)邦和ISO氣流速度標(biāo)準(zhǔn)
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等級(jí)：ISO 146144-1（聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209E） |
平均風(fēng)速（m / s（ft / min）） |
每小時(shí)換氣次數(shù) |
天花板覆蓋 |
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ISO 5（100級(jí)） |
0.203 – 0.406（40 – 80） |
240 – 480 |
35 – 70％ |
美G“環(huán)境科學(xué)技術(shù)研究所”（IEST）建議為100級(jí)（ISO5）潔凈室使用以下衣物。
為了zui大程度地減少ISO 5潔凈室中顆粒物的污染，只允許使用無(wú)脫落的潔凈室PPE。它們通常由Gortex，Tyvek，Dacron或其他非織造材料（如聚丙烯或其他微孔材料）制成。
蓬松的
胡子蓋
口罩
手套
ISO 5或100級(jí)手套符合ISO和FED STD 209E等級(jí)。這些袋裝手套經(jīng)處理不含微生物，不含粉末。一次使用后將其丟棄。
鞋套
設(shè)置袍子區(qū)，以方便拿取潔凈室服裝。
日常用品（例如筆，記事本和紙張）不適合用于潔凈室設(shè)置。Lap Pro存有您需要的潔凈室記錄雜物。
潔凈室化學(xué)品
打掃
潔凈室測(cè)試
