一、潔凈室用材的選擇 

1.必須仔細(xì)選擇潔凈室的各種用材，確保它們不會(huì)對(duì)室內(nèi)造成污染。潔凈室內(nèi)經(jīng)常使用的材料與設(shè)備舉例如下： 

1) 生產(chǎn)中使用的材料：在微電子工業(yè)中使用的硅晶片； 

2) 產(chǎn)品包裝材料：如玻璃瓶、塑料瓶、塑料袋、預(yù)制的盒子等； 3) 工藝設(shè)備和機(jī)器； 

4) 對(duì)設(shè)備和機(jī)器進(jìn)行維修、校準(zhǔn)、修理的工具以及轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)備的潤(rùn)滑劑等； 5) 人員服裝，如潔凈工作服、手套、指套、口罩、頭罩等； 6) 潔凈室清潔用品，如抹布與拖把； 

7) 消耗性用品，如書(shū)寫(xiě)紙張、圓珠筆、標(biāo)簽、棉簽。 

在大多數(shù)潔凈室中粒子和纖維都是環(huán)境污染的主要來(lái)源。所以，應(yīng)避免在生產(chǎn)工藝中使用容易破損或散發(fā)粒子的材料。其表面帶有粒子和纖維的材料也應(yīng)避免使用。 

在半導(dǎo)體工業(yè)中，產(chǎn)品表面的化學(xué)品和空氣環(huán)境中的某些氣體分子可能形成的化合 物，會(huì)沉積在半導(dǎo)體的表面上，它們可能影響產(chǎn)品質(zhì)量，甚**損壞半導(dǎo)體芯片。 

在一些潔凈室中，那些無(wú)法將靜電不斷地傳導(dǎo)開(kāi)的材料，可能會(huì)因?yàn)殪o電荷的積累和放電使那些對(duì)靜電敏感產(chǎn)品會(huì)受到損壞。此外，靜電還會(huì)使材料產(chǎn)生靜電吸附效應(yīng)而吸附粒子，造成污染問(wèn)題。 

選擇用于潔凈室內(nèi)的生產(chǎn)材料，不僅僅要著眼于適合于生產(chǎn)工藝，而且也應(yīng)關(guān)注是否有可能產(chǎn)生污染。顯然對(duì)那些既可能構(gòu)成污染，但又是生產(chǎn)所需的材料和物品，只有在缺之不可的情況下才能使用，或只有在已經(jīng)充分認(rèn)識(shí)到了這些材料產(chǎn)生污染的問(wèn)題，并考慮了其他替代材料但又確實(shí)都不適合后，才可使用。 

2.以下所列舉的部分乃**全部物品，因其會(huì)造成潔凈室的嚴(yán)重污染，根據(jù)產(chǎn)品對(duì)污染的敏感性不同，一般禁止在潔凈室中使用。 

1) 非潔凈室專(zhuān)用紙，如果一定要使用普通紙，應(yīng)將其放入塑料袋內(nèi)或采用雙面熱塑； 2) 鉛筆與橡皮、墨水中含有污染潔凈室環(huán)境的化學(xué)品、纖維頭書(shū)寫(xiě)筆或者會(huì)劃紙的圓珠筆、修改液； 

3) 用低碳鋼或其他會(huì)生銹、磨蝕、氧化的材料制成的物品； 4) 用機(jī)器加工或處理時(shí)會(huì)冒煙或破損的物品； 

5) 用木頭、橡膠、紙張、皮革、毛、棉及其他天然材料制成的易破損物品； 6) 研磨材料或粉末、產(chǎn)生氣溶膠的瓶瓶罐罐；7) 不適合于在潔凈室中使用的一次性物品，如棉簽、膠帶、標(biāo)簽； 

8) 潔凈室人員不得將第8章8. 12節(jié)中開(kāi)列出的個(gè)人物品帶入潔凈室內(nèi)。 

二、外部供應(yīng)的物品及其包裝 

如果物品的供應(yīng)商對(duì)潔凈室要求知之甚少，或根本不予關(guān)心，那么它所供應(yīng)的物品在進(jìn)人潔凈室時(shí)可能已受到了嚴(yán)重污染。在某些情況下，這可能是造成污染的一個(gè)重要原因。因此，為解決這類(lèi)問(wèn)題應(yīng)采取一些措施。 

1. 外供物品宜在潔凈環(huán)境中產(chǎn)生 

供應(yīng)潔凈室的物品要求在潔凈環(huán)境中生產(chǎn)，其潔凈度標(biāo)準(zhǔn)宜與產(chǎn)品所供應(yīng)的潔凈室相 同。如果外部供應(yīng)物品交付時(shí)不能達(dá)到適當(dāng)?shù)那鍧嵥疁?zhǔn)，則必須在潔凈室中對(duì)其加以清 潔，但這樣做的效果可能差些。有越來(lái)越多的公司在潔凈環(huán)境中制造供應(yīng)潔凈室生產(chǎn)所需 的零部件，潔凈室管理人員應(yīng)該向本企業(yè)采購(gòu)部門(mén)強(qiáng)調(diào)，要關(guān)注潔凈室物品供應(yīng)商的生產(chǎn) 環(huán)境。應(yīng)盡量選擇質(zhì)優(yōu)價(jià)廉，又是在相應(yīng)潔凈環(huán)境中生產(chǎn)的潔凈室用品，以保證本企業(yè)潔 凈室的潔凈度和減少清潔外供物品的耗費(fèi)。 

參觀考察供應(yīng)商的生產(chǎn)設(shè)施并檢查其生產(chǎn)環(huán)境是很必要的。外供物品生產(chǎn)廠家可能并 不熟悉潔凈室技術(shù)。所以，對(duì)他們的生產(chǎn)工藝的一些簡(jiǎn)單建議和改進(jìn)，就可能產(chǎn)生不錯(cuò)的效果。即使制造廠家不具備潔凈生產(chǎn)環(huán)境，但只要有較高水平的潔凈管理?xiàng)l件，使用潔凈室用的手套、抹布、不起毛的服裝等，也可大大提高產(chǎn)品的質(zhì)量。 

2. 外供物品的包裝材料 

應(yīng)注意產(chǎn)品的存儲(chǔ)和包裝。如果加工的產(chǎn)品從生產(chǎn)設(shè)備上取下后立即用合適的潔凈包 裝方式包裝好，則周?chē)^差的生產(chǎn)環(huán)境對(duì)產(chǎn)品的影響就可以降****小。 

外供物品的包裝方法和包裝材料必須考慮所供應(yīng)的潔凈室的潔凈度等級(jí)，包裝的尺 度、外形均應(yīng)符合貯藏、運(yùn)輸、開(kāi)箱過(guò)程中防污染的要求，對(duì)包裝材料的主要要求有以下 幾點(diǎn)•. 

1) 包裝材料的無(wú)污染性：要求包裝材料本身不產(chǎn)生粒子、纖維、污染氣體及蒸汽等， 不明顯地帶靜電，不與包裝品產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)； 

2) 包裝材料必須使用能夠清潔到包裝物品所要求的潔凈度的材料； 

3) 材料的強(qiáng)度及耐久性：包裝材料應(yīng)承受溫濕度、外部作用力和紫外線等影響，能夠保證所要求的密封性，避免運(yùn)輸、存放過(guò)程中破損而污染，以致將污染帶入潔凈室中。 

潔凈室外供用品的良好包裝，不僅可以避免產(chǎn)品在運(yùn)輸途中的損壞，也可以**大限度地避免產(chǎn)品受到外部環(huán)境的污染。常使用的塑料材料為塑料薄膜或預(yù)制的包裝塑料。塑料材料與其他許多材料相比，粒子、纖維、化學(xué)污染較少。塑料污染的大小取決于所使用的塑料種類(lèi)、制造方法以及包裝 方式。所以，對(duì)所用塑料包裝是否適宜也要進(jìn)行檢驗(yàn)。有些塑料會(huì)產(chǎn)生靜電，從而可能損壞產(chǎn)品。如果使用防靜電塑料，它對(duì)粒子及纖維的 吸附作用也較小，因此也更潔凈。如果需要控制分子污染的話，則有些塑料包裝材料（如 PVC包裝材料），可能就不適用了。 #p#分頁(yè)標(biāo)題#e#

3.外供物品的包裝方式 

還要考慮的是需要幾層包裝。如果潔凈室用的物品采用的是多層包裝，就可以在其運(yùn)往潔凈室的過(guò)程中一次打開(kāi)一層逐步拆裝，這就可以保證物品送**潔凈室時(shí)是較潔凈的。對(duì)外包裝用真空吸塵器吸掃外表面及用潮濕抹布擦拭，有助于保持其清潔，特別是在將產(chǎn)品運(yùn)往潔凈室的開(kāi)始階段，尤其如此。隨著產(chǎn)品逐步進(jìn)入潔凈室，外包裝也變得越來(lái)越潔凈，相對(duì)而言外包裝的清潔工作就顯得不那么必要了。 

包裝物品有各種各樣的正確方法。不同的物品、不同的用途、材料傳遞氣閘室的不同設(shè)計(jì)等使得包裝方法也有很大區(qū)別。所以，潔凈室的管理人員必須規(guī)定適用的包裝材料， 規(guī)定所需物品在進(jìn)入潔凈室的過(guò)程中對(duì)包裝進(jìn)行清潔和打開(kāi)各層包裝的規(guī)程。 

三、 通過(guò)氣閘室傳遞物品和小件設(shè)備 

任何潔凈室都不免要和其他低潔凈級(jí)別區(qū)或非潔凈區(qū)發(fā)生物品傳遞的情況，減少傳遞 過(guò)程中污染物的侵入是重要的日常管理工作。 

通常使用氣閘室、緩沖間以避免潔凈室外的空氣直接進(jìn)入潔凈室內(nèi)。在氣閘室的兩個(gè)門(mén)均關(guān)閉時(shí)，從外走廊在開(kāi)門(mén)時(shí)侵入的污染以及使用氣閘室的人所散發(fā)出的污染，均被氣閘室的送風(fēng)所稀釋。材料傳遞氣閘室的兩個(gè)門(mén)如同人身凈化的吹淋室一樣，一般都是聯(lián)鎖的。這樣就可以 確保一扇門(mén)關(guān)閉之前另一扇門(mén)是不能打開(kāi)的，可采用電氣聯(lián)鎖，也可以是機(jī)械聯(lián)鎖。這樣就可以防止外部較低潔凈級(jí)別或非受控區(qū)的空氣直接進(jìn)人潔凈室。粘墊則放在氣閘室人口處，或者氣閘室內(nèi)。粘墊的作用是防止鞋底或推車(chē)輪子上粘附的污染轉(zhuǎn)移到潔凈室內(nèi)。氣閘室也用來(lái)防止材料表面及其包裝上的污染物帶入潔凈室。以下介紹了兩種通過(guò)氣 閘室傳遞材料的方法。一種是“有臺(tái)”式材料物品傳遞氣閘室；另一種是“無(wú)臺(tái)”式材 料物品傳遞氣閘室。可根據(jù)所傳遞的材料物品及傳遞的安全性選用。 

1.帶傳遞臺(tái)的氣閘式傳遞室 

“有臺(tái)”式材料物遞氣閘室是將供應(yīng)品安全地傳遞進(jìn)潔凈室的方法之一。這種方式就 是由傳遞臺(tái)將氣閘室分成“較臟”與“清潔”兩個(gè)區(qū)，這種方法適用于傳遞較輕、可以由人力搬動(dòng)的材料和設(shè)備。 

使用傳遞臺(tái)傳遞物品的方法如下： 

1) 清潔傳遞臺(tái)：先將非受控區(qū)一側(cè)的門(mén)打開(kāi)，搬運(yùn)材料或設(shè)備的人員，從較低潔凈 級(jí)別或非受控區(qū)進(jìn)入氣閘室。氣閘室地面鋪有粘墊或粘毯，這樣，從外面地板向內(nèi)轉(zhuǎn)移的 污染就可以**少。搬運(yùn)人員按規(guī)定方法對(duì)傳遞臺(tái)進(jìn)行清潔，必要時(shí)對(duì)其進(jìn)行消毒，進(jìn)行清 潔工作時(shí)要注意，較長(zhǎng)的傳遞臺(tái)面被分為兩個(gè)區(qū)域，靠潔凈室一側(cè)為“清潔”區(qū)，靠較低 潔凈級(jí)別或非受控區(qū)一側(cè)為“拆包”區(qū)，如圖10-1所示。2) 送入傳遞物品并拆包：完成清潔工作后，搬運(yùn)人員將帶包裝的物品送人氣閘室。 但不得把紙板箱的包裝材料帶入氣閘室內(nèi)，因?yàn)樗鼈儠?huì)散發(fā)較多粒子，易造成交叉污染。 將帶著塑料包裝的物品送人氣閘室后，將其放置在傳遞臺(tái)的“拆包”區(qū)一側(cè)，即所謂的 “帶包裝”側(cè)或“臟”側(cè)。隨即對(duì)包裝進(jìn)行清潔，然后拆開(kāi)包裝。其具體清潔方法根據(jù)使 用物品的潔凈室的標(biāo)準(zhǔn)而定，**別潔浄室要求“精潔凈”，一般潔凈室要求則略低。然 后把物品放置于傳遞臺(tái)的另一側(cè)，即所謂的“包裝已拆”側(cè)或“潔凈”側(cè)。將物品從外 部區(qū)域送人氣閘室內(nèi)的人員攜帶裝置外包裝的容器，關(guān)上通往外部區(qū)域的門(mén)，離開(kāi)氣 閘室。 

3) 氣閘室充分自?xún)簦鹤寶忾l室處在無(wú)人狀態(tài)下數(shù)分鐘的時(shí)間，以便將污染降**這樣 的濃度：當(dāng)潔凈室一邊的門(mén)打開(kāi)時(shí)，潔凈室不會(huì)受到大的影響。為實(shí)現(xiàn)這一目的，可安裝 內(nèi)外門(mén)的聯(lián)鎖計(jì)時(shí)裝置或指示燈。當(dāng)潔凈室側(cè)門(mén)自動(dòng)打開(kāi)或指示燈點(diǎn)亮后，潔凈室的人員 進(jìn)人氣閘室，拿起物品后離開(kāi)氣閘室，如圖10-2所示。