潔凈室(無塵車間)及相關(guān)受控環(huán)境—按粒子濃度劃分表面潔凈度等級

表中的值是每1平方米的表面積上等于或大于關(guān)注數(shù)粒徑的離子濃度及SCP等級,括號內(nèi)的數(shù)字,其對應(yīng)的粒徑不應(yīng)用于分級;選擇七大粒徑進行分級.

對較低SCP級別的分級,要有大量的測量結(jié)果以確立有效值.

 

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境——按納米粒子濃度劃分空氣潔凈度等級

按懸浮粒子濃度劃分空氣潔凈度等級擴展到納米尺度分級表

    b）ISO-NPC 3級120 000個粒子是包括所有粒徑≥ 10 nm 粒子的累計濃度。ISO-APC 3級35個粒子是關(guān)注粒徑（considerd）≥ 0.5 µm 時，空氣中懸浮粒子的**大濃度限值（maximun concentration limit）。  

c）分級采樣量要大，見ISO 14644-1序貫采樣法。

   d）粒子濃度過高，限值不適用。 

 e）由于采樣和統(tǒng)計的局部性，該低濃度不適合于分級。

   f）由于在采樣系統(tǒng)中可能的粒子損失，使得低濃度和> 1 µm的粒徑不適合于分級。

   g）頒布時該粒徑計數(shù)超出當(dāng)前儀器測量范圍，本欄供未來使用。

同一個潔凈度要求，潔凈室處于不同的占有狀態(tài)，其污染的程度不同：

(1)關(guān)注粒徑（Considered Particle Size）： 0.1 µm；0.2 µm；0.3 µm；0.5 µm；1 µm；5 µm。 0.1 µm~ 0.2 µm 12英寸芯片廠受控環(huán)境關(guān)注的粒徑。 0.2 µm~ 0.3 µm 為空氣過濾器**宜穿透粒徑 MPPS（Most penetrating particulate size）。0.5 µm~ 5 µm 與細菌的粒徑相近（GMP-2010，潔凈區(qū)懸浮粒子的關(guān)注粒徑為：0.5 µm；5 µm）。

 (2)G際上取得共識的“技術(shù)定義”是，ISO 5級——≥ 0.5 µm 的粒子**大濃度限值為3520個/m  3。空氣中的懸浮粒子為分散系，具有隨機性和不確定性；計量時引入統(tǒng)計學(xué)概率：95%置信上限（UCL, Upper confidence Limit）。 

(3)G內(nèi)一些G家規(guī)范關(guān)于潔凈度的分級表述不確切，定為區(qū)間值： ISO 5級——≥ 0.5 µm的塵粒數(shù)為>350粒/m  3 到≤3500粒/m  3 。造成技術(shù)概念上的“混亂”。 

(4)ISO 潔凈度等級分為9個級別。ISO 1級（≥0.1 µm，10粒/m3）尚無工程應(yīng)用；ISO 9級（≥0.5 µm，3520萬粒/m  3 ）工程中很少應(yīng)用，GMP-98版中曾使用30萬級（≥0.5 µm，1050萬粒/m  3 ）。ISO 5級（≥0.5 µm，粒子**大濃度限值3520粒/m  3）相當(dāng)于美聯(lián)邦標準FS 209百級（≥0.5 µm，粒子 **大濃度限值3530粒/m3，或100粒/ft3）。